一文读懂吸气剂复合型离子泵的性能特点

　　吸气剂复合型离子泵是一种高效的气体抽取技术，下面就给大家详细介绍一下它的性能特点，希望能够帮助到大家！
 

　　吸气剂复合型离子泵的性能特点如下：
 

　　1、高抽速和低压力：采用电离泵和吸气剂共同作用，可实现高抽速和低压力的抽取。这种离子泵的抽速通常在100~10,000L/s之间，而其抽取压力通常在10^-9~10^-11Torr之间。
 

　　2、高真空下也能工作：适用于高真空条件下的气体抽取，可以将真空度提高到非常低的水平。这使得它在许多应用中都是重要的。例如，在半导体制造中，需要高真空环境来避免污染和减少杂质。
 

　　3、可以处理大量气体种类：可以处理各种类型的气体，包括惰性气体、反应性气体和蒸汽。这种泵具有广泛的应用领域，例如在化学制造中可用于处理危险气体。
 

　　4、长寿命：由于其内部没有运动的机械部件，因此其寿命比其他类型的泵长。它们需要很少的维护和保养，可以在多年甚至几十年的时间内持续运行。
 

　　5、清洁和安全：它是一种相对干净、不产生粉尘和污垢的抽取技术。此外，它也是非常安全的，因为电离器内只有低电压和低电流。
 

　　总之，吸气剂复合型离子泵是一种高效、低压力、长寿命、广泛应用、清洁和安全的气体抽取技术。由于其出色的性能，它在许多领域都被广泛使用，例如在半导体制造、化学制造、材料研究和天文学中等。